Table Rotary Semiconductor Hollow הוא מכשיר מיקום סיבובי-בדיוק גבוה שתוכנן במיוחד עבור תרחישים של ייצור מוליכים למחצה. ערך הליבה שלו טמון בפתרון מיקום ברמת מיקרו, הגנה נקייה ובעיות אינטגרציה של צינורות תהליכים בעיבוד פרוסות ואריזת שבבים באמצעות "מבנה חלול אולטרה נקי + תכנון עיבוד תהליך של מוליכים למחצה". הוא נמצא בשימוש נרחב בתהליכי ליבה כגון סיוע בפוטוליתוגרפיה, בדיקת פרוסות ואריזת מוליכים למחצה, ומהווה מרכיב מפתח להבטחת תפוקת מוצר מוליכים למחצה.
שולחן מוליכים למחצה חלול הוא מערכת מיקום סיבובית -ברמת דיוק גבוהה וברמת ניקיון גבוהה שתוכננה במיוחד עבור תהליכי ייצור, אריזה ובדיקה של שבבי מוליכים למחצה. הוא משלב את האינדיקטורים הטכניים-העליון של הפלטפורמה המסתובבת החלולה ועבר אופטימיזציה במיוחד לדרישות הקיצוניות של תעשיית המוליכים למחצה. זהו מרכיב פונקציונלי מרכזי להשגת מיקום, שידור ועיבוד מדויקים של פרוסות ונושאי שבבים, הקשורים ישירות לתפוקת הייצור ויעילות הציוד.
תכונת הליבה של ה-Low Rotary Semiconductor Table היא ערוץ חלול נקי במיוחד ומבנה תואם מוליכים למחצה: הצמצם החלול הוא בדרך כלל 50 מ"מ-300 מ"מ, והדופן הפנימית של התעלה מצופה בקרמיקה אלומינה בטוהר- גבוה, שעברה ליטוש אולטרה דיוק מ-50 מ"מ או 50 מ"מ. זה יכול לשמש כדי לעבור דרך צינורות זרוע מכונת העברת רקיק, צינורות מצופים photoresist, וסיבים אופטיים זיהוי, הימנעות הסתבכות קו במהלך סיבוב; השיש עשוי מפלדת אל-חלד לא-מגנטית או מחומר סיליקון קרביד, והמשטח מטופל בפלזמה (ברמת ניקיון של Class 1), שאינה מהווה סיכון של ניתוק חלקיקים. ממשק ספיחת ואקום פרוסות המוגדר מראש וחור סיכת המיקום מצוידים בציפוי אנטי סטטי בקצוות, העומד בתקני הגנת ESD של חדרים נקיים מוליכים למחצה. מצויד פנימי במערכת הנעת ריחוף מגנטית (ללא בלאי מגע מכני), יחד עם בקרת סרוו ספציפית למוליכים למחצה, דיוק המיקום החוזר יכול להגיע ל-± 1 שנייה קשת, העונה על הדרישות של תהליכים ננומטריים.
Hollow Rotary Semiconductor Table היא פלטפורמת הליבה לציוד-מתקדם, כגון תחנות בדיקה של פרוסות, מכונות הנחת שבבים, מכונות חיבור תיל, מכונות פוטוליתוגרפיה, ציוד לבדיקת מוליכים למחצה (AOI) ואריזה מתקדמת (כגון 2.5D/3D ICs). הוא נמצא בשימוש נרחב בשלבים שונים של ייצור מוליכים למחצה קדמיים- ואחורי-אריזה ובדיקות, והוא "אבן היסוד של סיבוב דיוק" התומך בחוק מור להמשיך להתקדם ולהשיג ביצועים גבוהים יותר וגודל קטן יותר של שבבים.
כאן בדף זה, אנו מציגים סדרה של שולחן מוליכים למחצה חלולים TMN130, תראה גיליון נתונים, תמונות ייצור, סרטוני בדיקה כדלקמן:
כמו כן אתה מוזמן לצפות בפרויקטים נוספים או לבקר בגלריית הסרטונים שלנו על ידי Youtube: https://www.youtube.com/@tallmanrobotics
תגיות פופולריות: שולחן מוליכים למחצה סיבוביים חלולים, יצרנים, ספקים, מפעל שולחן מוליכים למחצה חלולים סיבוביים
